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工业
光电离装置
中性射线电离装置
中性射线的作用是通过“电离”过程将空气中的分子分离成(+/-)离子。
光电离装置的优点
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完美的离子平衡
'+离子和-离子均等产生,无论带电的表面电荷极性如何,都能均匀地消除静电
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不产生金属粉末
适合洁净室使用,不会因为金属粉末引发产品不良
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静电消除速度快
离子发生密度高,
静电消除速度比电晕放电式快 -
不产生臭氧(致癌物)
与电晕放电式不同,不产生臭氧,可防止工人安全事故和设备腐蚀
安装与应用案例
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半导体
加工晶圆和模具时 -
胶片
剥离/卷置/移送区间 -
显示器
退回(移送)区间 -
塑料
注塑/零部件/材料供应 -
医药粉剂包装
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设备内部
摩擦机、步进式光刻机等