杆式
VSB-XXXXRD
VSB-XXXXRD
/ VSC-108E
5kV低功率杆式分离型
模块结构的光电离装置 放射线许可证与申报义务免除产品
模块结构的光电离装置 放射线许可证与申报义务免除产品
采用分离型模块结构，可根据所需长度连接1~8个模块或
拆卸，以所需长度灵活使用。另外，使用后需要更换的软X射线管
可轻松拆卸，维护方便。
特点
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机头
- 采用换管型机头，维护成本低
- 模块型结构(最多8个(2750 mm)), 可调节长度
- 消除附近物体的静电
- 免除放射线许可证与申报义务（韩国）
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控制器
- 显示机头的使用累计时间
- 采用RS-485通信，可与外部设备连接并管理
（远程调整） - 最多可控制8个独立模块
-
完美的离子平衡
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不产生异物
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无需维护
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静电消除速度快
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不产生臭氧
应用
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半导体
加工晶圆和模具时 -
胶片
剥离/卷置/移送区间 -
显示器
退回（移送）区间 -
塑料
注塑/零部件/材料供应 -
医药粉剂包装
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设备内部
摩擦机、步进式光刻机等
规格
VSB-XXXXRD / VSC-108E(5 kV) 产品规格
| 产品 | 项目 | 内容 |
|---|---|---|
| 通用 | 驱动温度 | 0~40℃ |
| 储存温度 | -10℃~60℃ | |
| 驱动湿度 | 60%以内 | |
| 储存湿度 | 85%以内 | |
| 机头 (VSB-XXXXRD) |
管电压(DC) | 4.98 kV |
| 照射角度 | 150º | |
| 电源输入 | DC +24 V | |
| 最大功耗 | 12 W | |
| 重量 | 350mm : 0.37 kg / 300mm : 0.35 kg | |
| 控制器 (VSC-108E(5 kV)) |
电源输入 | AC 100~240 V, 50/60 Hz |
| 最大功耗 | MAX 8ch 70 W | |
| 重量 | 0.9 kg | |
| I/O接口 | 远程、互锁、故障 | |
| 通信 | RS-485 | |
| I/O销钉连接器 | DSUB 25P母座 |
衰减时间率
* 静电消除性能表示为通过照射软X射线让带电±1000V的金属板减少至带电±100V所耗费的时间。
遮蔽方法
| 材质 | 遮蔽厚度(mm) |
|---|---|
| 不锈钢 | 0.2 |
| 铝 | 0.3 |
| 玻璃 | 0.4 |
| PVC | 0.8 |
| 丙烯酸纤维 | 4.0 |
* 遮蔽后测量外泄辐射剂量时，测量结果须在法律规定的限值（10μSv/h）范围内。
尺寸(mm)
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机头 (VSB-XXXXRD)
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控制器 (VSC-108E)
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托架
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中间托架A
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中间托架B
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托架盖
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侧托架
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部件
部件
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Head (VSB-XXXXRD)
(Max 2750) / 1ea
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Controller (VSC-108E) / 1ea
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Output Cable (10m) / 1ea
Part #: E-OC-0010
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D-Sub Cable 15pin (5m) / 1ea
Part #: D-15P-0005
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Fixing Bolt
M5 X 6L / 2ea
M5弹簧垫圈 / 2ea
M5 X 12L SEMS内六角螺栓 / 2ea
M3 3030型材弹簧螺母 / 2ea
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Power Cable (1.8m) / 1ea
AC 250V / 50,60Hz
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Bracket中间托架A / 2ea
中间托架B / 2ea
侧托架 / 2ea
托架盖 / 2ea
螺栓 / 4种
