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05系列光电离装置
VSN-05UE 机头控制器一体式
放射线许可证与申报义务免除产品!
本品为5kV低功率产品,采用使用方
便的一体式结构和考虑维护成本经济性的
换管模块,依据《原子能安全法》,
属于免除单独申报义务的产品。
特点
-
- 使用软X射线的静电消除器
- 安装空间不受限制的超小型机头
- 附近对象物体的静电消除器
- 免除放射线许可证与申报义务(韩国)
- 可更换一体式和分离式管(VSH-05US)
- 可通过时间读取器查看时间信息(选装时)
- 完美的离子平衡
- 不产生异物
- 无需维护
- 静电消除速度快
- 不产生臭氧
应用
-
半导体
加工晶圆和模具时 -
胶片
剥离/卷置/移送区间 -
显示器
退回(移送)区间 -
塑料
注塑/零部件/材料供应 -
医药粉剂包装
-
设备内部
摩擦机、步进式光刻机等
规格
VSH-05UE 产品规格
产品 | 项目 | 内容 |
---|---|---|
机头 (VSH-05UE) |
管电压(DC) | 4.98 kV |
照射角度 | 150º | |
电源输入 | DC +12 V(Adaptor) | |
最大功耗 | 8 W | |
重量 | 0.4 kg | |
驱动温度 | 0~40℃ | |
储存温度 | -10℃~60℃ | |
驱动湿度 | 60%以内 | |
储存湿度 | 85%以内 | |
保修期 | 1年 | |
选装 | 时间读取器 / 1ea |
衰减时间率
* 静电消除性能表示为通过照射软X射线让带电±1000V的金属板减少至带电±100V所耗费的时间。遮蔽方法
材质 | 遮蔽厚度(mm) |
---|---|
不锈钢 | 0.2 |
铝 | 0.4 |
玻璃 | 0.7 |
PVC | 0.6 |
丙烯酸纤维 | 8 |
* 遮蔽后测量外泄辐射剂量时,测量结果须在法律规定的限值(10μSv/h)范围内。
尺寸(mm)
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机头 (VSH-05UE)
-
时间读取器(选装)
部件
部件
-
Head (VSH-05UE) / 1ea
-
Adapter (DC 12V 3.3A ) / 1ea
Part #: P-AD12-001 -
Data Cable (5m) / 1ea
Part #: UE-DC-0015 -
Extension Power Cable
(15m) / 1ea
Part #: EX-PC-0015 -
Fixing Bolt
1/4”X 15L / 1ea
1/4 X 8L /1ea
M4 x 0.7pitch x 10L / 2ea -
Power Cable (1m~1.5m) / 1ea
AC 220V, 50/60Hz, 1.8m / 1ea
Part #: PC-220-0018