12 系列光电离装置
VSH-12Z/VSC-15Z
用大功率光电离装置快速消除静电
适合可以快速消除静电的大功率设施。
并且还可以连接到电脑，从而识别开/关、管累计时间以及故障等。
特点
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机头
- 采用分离式或一体式换管型机头，维护成本低
- 用大功率光电离装置快速消除静电
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控制器
- 显示机头的使用累计时间
- 采用RS-485通信，可与外部设备连接并管理
（远程调整） - 最多可连接4个机头单元
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完美的离子平衡
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不产生异物
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无需维护
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静电消除速度快
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不产生臭氧
应用
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半导体
加工晶圆和模具时 -
胶片
剥离/卷置/移送区间 -
显示器
退回（移送）区间 -
塑料
注塑/零部件/材料供应 -
医药粉剂包装
-
设备内部
摩擦机、步进式光刻机等
Specification
VSH-12Z / VSC-15Z 产品规格
| 产品 | 项目 | 内容 |
|---|---|---|
| 通用 | 驱动温度 | 0~40℃ |
| 储存温度 | -10℃~60℃ | |
| 驱动湿度 | 60%以内 | |
| 储存湿度 | 85%以内 | |
| 机头 (VSH-12Z) |
管电压(DC) | 12 kV |
| 照射角度 | 150º | |
| 电源输入 | DC +24 V | |
| 最大功耗 | 16 W | |
| 重量 | 0.6 kg | |
| 控制器 (VSC-15Z) |
电源输入 | AC 100~240 V, 50/60 Hz |
| 最大功耗 | 100 W | |
| 重量 | 0.9 kg | |
| I/O接口 | 远程、互锁、故障 | |
| 通信 | RS-485 | |
| I/O销钉连接器 | DSUB 15P母座 |
衰减时间率
* 静电消除性能表示为通过照射软X射线让带电±1000V的金属板减少至带电±100V所耗费的时间。
遮蔽方法
| 材质 | 遮蔽厚度(mm) |
|---|---|
| 不锈钢 | 0.3 |
| 铝 | 5 |
| 玻璃 | 7 |
| PVC | 6 |
| 丙烯酸纤维 | 79 |
* 遮蔽后测量外泄辐射剂量时，测量结果须在法律规定的限值（10μSv/h）范围内。
尺寸(mm)
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机头 (VSH-12Z)
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控制器 (VSC-15Z)
部件
部件
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Head (VSH-12Z) / max. 4ea
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Controller (VSC-15Z) / 1ea
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Output Cable (15m) / max. 4ea
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D-Sub Signal Cable 15pin
(5m) / 1ea
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Fixing Bolt
1/4” X 15L / max. 4ea
1/4" 20UNC X 8L / max. 4ea
M4 X 10L / max. 8ea
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Power Cable (1.8m) / 1ea50,60Hz
