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Power Feedthrough
Power Feed through 概要
- 真空チャンバー内部に外部電力を供給する装置
- Feedthroughは、チャンバー壁で密封と電気絶縁の両方が可能
- Feedthroughは密閉性と電気絶縁を必要とするアプリケーションのために最適なソリューション
Specification
- 現在製作されているFeedthroughの仕様：15㎸、3 A
- 顧客のニーズに応じた製品生産が可能
設置方法
- ろう付け、溶接、ISO KFフランジ、ConFlatフランジ、NPTフィッティング、1 "ベースプレート
応用分野
- 半導体処理設備、粒子加速器、加熱炉、分析機器、X線検出装置などの真空装置に適合
- 高温、高圧の装置への使用にも適合（電極：モリブデン使用）