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Power Feedthrough
Power Feedthrough의 개요
- 진공 챔버 내부로 외부의 전력을 공급하는 장치
- Feedthrough는 챔버 벽에서 밀봉 및 전기 절연을 모두 제공 가능
- Feedthrough는 밀폐성과 전기 절연을 필요로 하는 애플리케이션을 위한 솔루션을 제공
Specification
- 현재 제작되는 Feedthrough의 spec. 15 ㎸, 3 A
- 고객의 요구에 따라 제품 생산 가능
설치 방법
- Brazing, 용접, ISO KF 플랜지, ConFlat 플랜지, NPT 피팅, 1” 베이스 플레이트
응용분야
- 반도체 처리설비, 입자 가속기, Furnace, 분석장비, X-선 검출 장치 등의 진공장비에 적합
- 고온, 고전압의 장치에도 사용이 적합(전극: Molybdenum 사용)